Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Косенок Я$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 2
Представлено документи з 1 до 2
|
1. |
Косенок Я. А. Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ [Електронний ресурс] / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. Г. Денисман, Т. А. Герасименя, О. А. Матюшонок // Хімія, фізика та технологія поверхні. - 2014. - Т. 5, № 1. - С. 89-93. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/khphtp_2014_5_1_14
| 2. |
Косенок Я. А. Реологические свойства композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния для применения в электронике [Електронний ресурс] / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. В. Туров, Д. П. Савицкий // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, Вип. 2. - С. 269-277. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Nano_2014_12_2_9 Исследовано реологическое поведение композиционных суспензий на основе силикатного золя и наноразмерных частиц диоксида кремния, которые могут быть использованы на II-й стадии полировки пластин монокристаллического кремния и других полупроводниковых материалов. Приведены физически обоснованные формулы для описания эффективной вязкости в зависимости от степени равновесного разрушения и тиксотропного восстановления связей структуры в процессе течения композиционной суспензии. Формулы сравниваются с результатами, полученными экспериментальным путем. Приведены данные о режимах полировки и качестве поверхности пластин монокристаллического кремния после полировки с использованием композиционной суспензии.
|
|
|